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关键环境电离棒

Simco-Ion’电离棒的设计可满足工具内电离的苛刻要求。高离子输出可快速中和晶圆上的电荷,因此可以达到最严格的E78标准。空气动力学设计和与洁净室兼容的材料使我们的关键环境电离空气棒能够在微型环境和洁净室中实现完全有效的电离,而不会干扰层流。

AeroBar 5225 1类软件控制的电离空气棒

气杆® 5225仪器内电离系统

AeroBar 5225型 使用预编译的例程或开放源代码示例,可以轻松地将其与您的工具集成。与工具界面的无缝集成,除了具有以下优点之外,还意味着成本更低的电离解决方案降低维护成本更好的警报处理.

 

AeroBar 5225S 1类电离空气棒

气杆® 5225S独立电离棒

AeroBar 5225S型可调且精确易于使用的数字设置,可将AeroBar用于众多的应用,从内部工具到工作站和洁净室区域。

 

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